���

��Ŀ����

����ָ��

1

ʸ�����������

�԰뵼�������͵�·�ڸ�ƵƵ�ν��в��ԣ�����������Ƶ�����ԡ����������ԡ�����ϵ���ͻ���ʧ��ϵ������Ҫ�������в�����Ƶ�ʷ�Χ��0.1GHz-60GHz

2

��Ƶ��Ƭ΢�����ʲ�����

�Ը�Ƶ��������·���й��ʲ��ԣ�����Ƶ�ʷ�ΧΪ8GHz-50GHz�����ʷ�Χ��23dBm������ѹ60V

3

��Ƶ��Ƭ΢�����ʲ�����

�Ե�Ƶ��������·���й��ʲ��ԣ�����Ƶ�ʷ�ΧΪ1.8GHz-18GHz�����ʷ�Χ��23dBm������ѹ60V

4

�ǽӴ�����������

�����Ӳ��ϵķ�����衢Ǩ���ʡ����������ܶȽ��в������ɶ�1Ӣ����4Ӣ��ԲƬ���в���

5

��̬-˲̬ӫ�������

���԰뵼����ϵĹ��·������Ժ������������ԣ���Դ������믵ơ�325nm ����������ƣ���̬������Χ��200nm-900nm��˲̬������Χ��200-400nm���¶ȣ�2.6K-400K

6

���ʵ�·������

ֱ�����ʵ�·���ԣ�0-750V/0-40A, 10000W����ֱ�����ʵ��Ӹ��أ�4.5KW/45A/350V;��ѹ��ѹ�źŲ��ԣ���߷��ֵ��ѹ6000V���ߵ����źŲ��ԣ�150A/20MHz�����ʷ�����:60KHz����Ƶ��

7

�߹��ʼ���ģ�������

�߾��ȵ�ѹ������������С�ֱ���10 fA/100 nV�������л���������б��5.0A/us��С���ʿɱ��ֱ����ѹ������Դ��30V/3A;��ѹ�źŲ��ԣ�����Ƶ��1.5GHz 5GSa/s�������źŲ��ԣ�15A peak/50MHz;���ص�Դ��·����������Ƶ��10Hz-45MHz

8

�޵���ʩ�ߴ�ZVA50���������

�������ڹ��ʷŴ������������Ŵ�������Ƶ���ȵ����Լ������Բ���������Ƶ�ʷ�Χ����10MHz-50GHz���ڸ�������ʣ����ʷ�Χ-40dBm-15dBm����̬��Χ������ֵΪ>140dB�������ٶȿ죬ÿ�����Ե����ʱ�����3.5��s����������ﵽ��߿ɴ�1MHz��ÿ�����ߵIJ��Ե�������ɴ�60000��

9

Cascade Summit11000B-M��Ƭ����̽��̨

����200mm��150mm��Բ��С�ߴ�΢����ƵIC�IJ��ԣ��漰RF/΢��������������������Բ���ɿ��Բ��Ե���Ŀ������Ƶ�ʷ�Χ��߿ɴ�50GHz���ɽ��иߵ��²��ԣ��������������¶ȷ�Χ����-60��-300�棻̽��̨����ϵͳ����0.1um

10

ɨ��羵��SEM������

������Ʒ������ϵ��������ܽ���΢�۳����Ծ��ȿɴ�10 nm

11

Ͷ��羵��TEM������

������Ʒ������ϵ��������ܽ���΢�۳����Ծ��ȿɴ�0.1nm

12

ֱ������ϵͳ

��������������ֱ��IV���ԡ�CV���ԡ���ѹ���Եȣ���ѹ��Χ�ɴ�1000 V���������ȿɴ�10pA

13

̨�ײ���

�Ծ���̨����ò�İ뵼�塢��������Ʒ���и߶Ȳ������������<10nm

14

���ܼ�˲̬�ײ���

�ܼ��뵼����΢�����ʡ�ȱ�ݵ����ܼ�������̬