����������Ƭ��Ϊ���Ƶ����������Ļ������ϣ�����������ȱ���٣������Ժã�������������LED�͵����ظ�Ч��΢�����������ĺ������Ӳ��ϡ�Ϊʵ�ָ�������GaN���Ӳ��ϣ�����������MOCVD����������ͨ������ʱ��AlԴ��NԴ��ʱ����ͨ��ģʽ������Ԥ��Ӧ��ʵ�ָ߽ᾧ������AlN�ɺ˲㣬����˸�������GaN���ϣ��������Si����ߴ�GaN���ʽ�������������²��ýṹ���ƺ͵��ڲ������������е�Ӧ������Сʧ�������������ʵ�ָ�����������
ͻ����SiC���Ӳ��Ͼ����Կ��Ƽ�����ȱ�ݿ��Ƽ�������������Ƽ���������ϵͳ���������ȶ���ؼ��������ɹ�ʵ������SiC�ģ�0001����ƫ4��ĵ��ϵĿɿز��ӡ�������n�͡�p�ͼ��ǹ�����ӵĴ�Χ����Ũ�Ⱦ�ȷ���Ƽ�������ȷǾ�����С��2%�����ӷǾ�����С��5%����չ����ߴ�SiC���Ӳ��Ϲ��ռ����о���