(1)�����ﳬ������MOCVD���������豸

(2)̼����(SiC)���Ӳ����豸

��̼����(SiC)���Ӳ����������棬�����з������3-4Ӣ��4H-SiC���Ӳ��������豸��ʵ����̼���������������յ��Ż����ơ�

(3)����Mist-CVD�豸

����Mist-CVD�����������������������ص�����Ĥ��Mist-CVD�������ó�����ʹԭ����Һ����Ȼ��ͨ���������彫������ԭ�ϴ��͵���Ӧ¯�����ڴ˾����ȷֽ⡢��������ԭ���û���һϵ�з�Ӧ���ڳĵ��ϳ�Ĥ�������������̿����ڿ��������¹������������ղ�����Ҳ����Ҫ���⡢���ܵIJ�����