�����Ͳ���ʵ�������ߣ��ྻ���Ϊ1000ƽ����,�ྻ��Ϊ1000�����ֲ�100����������´�������300��600Ƭ3�羧Բ����NIKON I7 ����ʽ��̻���0.5 µm ��
��MJB3��̻���0.8 µm��
��PECVD���ʳ����豸
��RIE��Ӧ���ӿ�ʴ��
��VPC-1100����������̨��4�У�
��ICP-98C���������ʴ��
StepperICP
RIE Ebeam Evaporator
