科研生产环境与设备
目前拥有一套完整的宽禁带材料生长和器件研制的工艺设备和环境,400平方米以上面积的超净实验室环境3套和完整的测试分析设备。
1000级微电子超净工艺实验室超净间,连同材料生长、器件制作和相关表征设备,形成了一条完整的化合物半导体材料和器件工艺线。
超净实验室 GaN/SiC材料生长设备
MOCVD-320 (3片2英寸) 世界最先进的碳化硅外延生长设备-EPIGRESS公司
GaN材料生长设备(自主知识产权研制,国内首台) 6片热璧式低压SiC外延系统
本网站版权*西安电子科技大学宽带隙半导体国家重点实验室 陕ICP备06007346号 电话:029-88202073 电子邮箱:pjma@xidian.edu.cn技术支持:西安聚力