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MOS器件的NBTI 效应
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不同空穴电流密度Jhole,不同Vg应力,不同激活能方差σ

pMOS器件的Vth漂移 归一化的NBTI影响的空穴迁移率退化

建立了NBTI效应模型。栅压和温度的变化改变Vth漂移的幅度,退化斜率不变。激活能不同证实反应物不同,参数退化有不同的斜率。模型成功解释了NBTI效应的反应过程。

郝跃,韩晓亮,刘红侠,电子学报,2003,31(12A)pp:2063-2065


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