授课教师：陈文甫

教师简介（中英文）：

1990~1994

西安电子科技大学

技术物理系

1994~1998

浙江绍兴

华越微电子制造有限公司

模拟电路设计

1998~2002

新加坡特许半导体制造有限公司

光刻工程师

2002~2005

中芯国际集成电路制造

上海有限公司

光刻工程师

2005~2011

中芯国际集成电路制造

北京有限公司

光刻经理

2011~2022中芯国际集成电路制造

上海有限公司

工艺集成总监

1990 – 1994

Applied Physics faculty, Xidian university

1994 – 1998

Analog IC designer, Huayue microelectronic Co. Ltd,

Shaoxing Zhejiang Province.

1998 – 2002

Photolithography engineer, Chartered Semiconductor Manufacturing Co. Ltd, Singapore.

2002 – 2005

Photolithography engineer, SMIC, Shanghai.

2005 – 2011

Photolithography manager, SMIC, Beijing.

2011 -- 2022 Process integration director, SMIC, Shanghai.

课程简介（中英文）：

讲授半导体制造相关的基础技术、主要工艺和主要设备原理。

In this lesson, we will introduce the terminology, concepts, processes, products, and equipment commonly used in the manufacture of ultra large scale integrated (ULSI) semiconductors.