张玉明
个人信息:Personal Information
教授
性别:男
毕业院校:西安交通大学
学历:博士研究生毕业
学位:工学博士学位
在职信息:在岗
所在单位:集成电路学部
学科:等离子体物理 集成电路系统设计 微电子学与固体电子学
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西安市科学技术进步一等奖,(2002-5)
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成果名称:ECR可刻蚀及碳化硅高温半导体器件技术