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个人信息：Personal Information
教授 博士生导师 研究生导师
主要任职：微电子学院 教师
其他任职：西电EDA研究院 副院长
性别：男
毕业院校：西安电子科技大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士学位
在职信息：在岗
所在单位：微电子学院
学科：微电子学与固体电子学 管理科学与工程
办公地点：东大楼412B
联系方式：hlyou@mail.xidian.edu.cn
电子邮箱：
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提高LPCVD沉积BPSG薄膜均匀性的工艺优化方法
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所属单位：100900
教研室：1114
专利范围：1
第一作者：游海龙
专利类型：1
申请号：201410719525
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2014-12-01
授权日期：2017-04-12