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个人信息：Personal Information
教授 博士生导师 研究生导师
性别：女
毕业院校：西安电子科技大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士学位
在职信息：在岗
所在单位：微电子学院
学科：集成电路系统设计 微电子学与固体电子学
办公地点：北校区东大楼407
联系方式：029-88204085
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Optical characteristics of H2O-based and O-3-based HfO2 films deposited by ALD using spectroscopy ellipsometry
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所属单位：微电子学院
发表刊物：APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
第一作者：Fan, Xiaojiao; Liu, Hongxia; Zhong, Bo; Fei, Chenxi; Wang, Xing; Wang, Qianqiong
论文类型：Article
论文编号：SCI WOS:000354189200020
卷号：119
期号：3
页面范围：957-963
ISSN号：0947-8396
是否译文：否
发表时间：2015-01-01
收录刊物：SCI