刘红侠
个人信息:Personal Information
教授 博士生导师 研究生导师
性别:女
毕业院校:西安电子科技大学
学历:博士研究生毕业
学位:博士学位
在职信息:在岗
所在单位:微电子学院
学科:集成电路系统设计 微电子学与固体电子学
办公地点:北校区东大楼407
联系方式:029-88204085
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The influence of process parameters and pulse ratio of precursors on the characteristics of La1-x Al (x) O-3 films deposited by atomic layer deposition
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所属单位:微电子学院
发表刊物:NANOSCALE RESEARCH LETTERS
第一作者:Fei, Chenxi; Liu, Hongxia; Wang, Xing; Fan, Xiaojiao
论文类型:Article
论文编号:SCI WOS:000354195800001
卷号:10
页面范围:1-9
ISSN号:1556-276X
是否译文:否
发表时间:2015-01-01
收录刊物:SCI